研摩剤が凝固してホース内に付着し、ラインが止まってしまう!(TOYOX 工場設備機器の配管用ホース(溶剤・薬品用ホース) トヨフッソ)

導入事例紹介のご紹介

導入前の状態

シリコンウェーハを製造している工場で、ウェーハ研摩装置の研磨剤のシリカ搬送用に塩ビホースを使用。

問題点

使っていくうちにシリカが凝固してきてホース内に付着し、ラインが止まるなどのトラブルが発生した。現場では凝固したシリカをハンマーで叩いたりしていた。

TOYOX 工場設備機器の配管用ホース(溶剤・薬品用ホース) トヨフッソを導入

トヨフッソの特徴
■耐薬品・耐溶剤性
内面が4フッ化系樹脂だから2フッ化系樹脂に比べ耐薬品性、耐溶剤性に優れる。
■非粘着・撥水性
内面が平滑で高粘度の流体でも効率よく輸送でき、また流体が残りにくく洗浄も容易 。
■柔軟
積層一体構造で単層フッ素チューブに比べ柔軟。

結果

撥水性の良いトヨフッソホースをモニターで使用していただく。1カ月経過しても凝固が無く良好であったので問題解消!